臺(tái)式真空等離子清洗機(jī)主要由真空室、高頻電源、等離子體發(fā)生器、氣體控制系統(tǒng)、溫度控制系統(tǒng)、觀察窗口等組成。采用氣體作為清洗介質(zhì)，有效地避免了因液體清洗介質(zhì)對被清洗物帶來的二次污染。清洗機(jī)外接一臺(tái)真空泵，工作時(shí)清洗腔中的等離子體輕柔沖刷被清洗物的表面，短時(shí)間的清洗就可以使有機(jī)污染物被清洗掉，同時(shí)污染物被真空泵抽走，其清洗程度達(dá)到分子級。除了具有超清洗功能外，在特定條件下還可根據(jù)需要改變某些材料表面的性能，等離子體作用于材料表面，使表面分子的化學(xué)鍵發(fā)生重組，形成新的表面特性。對某些有特殊用途的材料，在超清洗過程中的輝光放電不但加強(qiáng)了這些材料的粘附性、相容性和浸潤性，并可消毒和殺菌。
臺(tái)式真空等離子清洗機(jī)的優(yōu)勢介紹：
1.在經(jīng)過等離子清洗以后，被清洗物體已經(jīng)很干燥，不必再經(jīng)干燥處理即可送往下道工序。
2.不使用三氯乙甲等有害溶劑，清洗后也不會(huì)產(chǎn)生有害污染物，屬于有利于環(huán)保的綠色清洗方法。
3.用無線電波范圍的高頻產(chǎn)生的等離子體與激光等直射光線不同，它的方向性不強(qiáng)，因此它可以深入物體的微細(xì)孔眼和凹陷的內(nèi)部并完成清洗任務(wù)，所以不用過多考慮被清洗物體形狀的影響，而且對這些難清洗部位的清洗效果與用氟里昂清洗的效果相似甚至更好。
4.整個(gè)清洗工藝流程在幾分鐘即可完成，因此具有效率高的特點(diǎn)。
5.等離子清洗需要控制的真空度約為100Pa，這種真空度在工廠實(shí)際生產(chǎn)中很容易實(shí)現(xiàn)。這種裝置的設(shè)備成本不高，加上清洗過程不需要使用價(jià)格昂貴的有機(jī)溶劑，因此它的運(yùn)行成本要低于傳統(tǒng)的清洗工藝。
6.由于不需要對清洗液進(jìn)行運(yùn)輸、貯存、排放等處理措施，所以生產(chǎn)場地很容易保持清潔衛(wèi)生。
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